Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren

Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2001

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Mühe, Andreas (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2001
Schlagworte:
Hochschulschrift > Silicium > Czochralski-Verfahren > Getterung > Sauerstoff > Störstelle > Diffusion
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