Über den Sauerstoff-Transport bei der industriellen Silicium-Kristallzüchtung nach dem Czochralski-Verfahren

Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2001

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mühe, Andreas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2001
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Czochralski-Verfahren > Getterung > Sauerstoff > Störstelle > Diffusion
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2001
Beschreibung:	145 S Ill., graph. Darst