Verlustmechanismen in ferroelektrischen keramischen Dünnschichtkondensatoren für hochintegrierte nicht-flüchtige Halbleiterspeicher

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lohse, Oliver (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen Shaker 2001
Schriftenreihe:Berichte aus der Halbleitertechnik
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2001
Beschreibung:VII, 111 S
Ill., graph. Darst
21 cm
ISBN:3826596528
3-8265-9652-8