Verbundprojekt: "Effizienzsteigerung der Hochrateabscheidung optischer Funktionsschichten durch in-situ Kontrolle und Regelung", Teilvorhaben: "Technologische Umsetzung des Gesamtregelungssystems" Abschlussbericht
Architecture glass coatings, process control - and regulation, optical measurements procedures
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Neubrandenburg
2001
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Zusammenfassung: | Architecture glass coatings, process control - and regulation, optical measurements procedures |
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 13 N 7342 3. - Engl. Zsfassung u.d.T.: Efficiency increase of high rate deposition of optical coatings by in-situ monitoring and control, subtitle: technological realisation of the whole closed loop regulation systems Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Literaturverz. S. 24 Auch als elektronische Ressource vorh |
Beschreibung: | 24 Bl Ill., graph. Darst |