SIMIKO Abschlussbericht 2000

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Technische Universität Chemnitz-Zwickau Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Dötzel, W. (BerichterstatterIn), Hühnerfürst, A. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz TUC 2000
Schlagworte:	Forschungsbericht > Silicium > Mikromechanik > Wafer
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 16SV627 2 - Verbund-Nr. 01009311 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Teilweise auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:	[212] Bl Ill., graph. Darst