Entwicklung und Erprobung eines vertikalen Wafertischs für die Ionen-Projektions-Lithografie (IPL) Abschlußbericht

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Schäffel, Christoph (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hoffmann, Andrew (VerfasserIn), Beckert, Erik (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Ilmenau Inst. für Mikroelektronik- u. Mechatroniksysteme 2001
Schlagworte:	Forschungsbericht
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