Entwicklung und Erprobung eines vertikalen Wafertischs für die Ionen-Projektions-Lithografie (IPL) : Abschlußbericht

Entwicklung und Erprobung eines vertikalen Wafertischs für die Ionen-Projektions-Lithografie (IPL) Abschlußbericht

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schäffel, Christoph (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Hoffmann, Andrew (VerfasserIn), Beckert, Erik (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Ilmenau Inst. für Mikroelektronik- u. Mechatroniksysteme 2001
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01 M 2983 F. - Verbund-Nr. 01009028
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentenversion können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:11 Bl
Ill., graph. Darst