MEMS and microsystems : design and manufacture

MEMS and microsystems design and manufacture

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hsu, Tai-Ran (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Boston, Mass. u.a. McGraw-Hill 2002
Ausgabe:1. ed
Schlagworte:
Microelectronics > Microelectromechanical systems > Microelectronic packaging > Lehrbuch > Mikrosystemtechnik
Online Zugang:Verlagsangaben
Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references (S. 427 - 431) and index
Beschreibung:XII, 436 S
Ill., graph. Darst
24 cm
ISBN:0072393912
0-07-239391-2
0071130519
0-07-113051-9