Laserstrahljustieren mit Excimerlasern : Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion

Laserstrahljustieren mit Excimerlasern Prozeßparameter und Modelle zur Aktorkonstruktion

Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2001

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Müller, Burkhard (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Müller, Burkhard Arthur (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Bamberg Meisenbach 2001
Schriftenreihe:Fertigungstechnik - Erlangen 110
Schlagworte:
Hochschulschrift > Justieren > Excimerlaser > Aktor > CAD > Prozessmodell
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2001
Beschreibung:117 S
graph. Darst
21 cm
ISBN:3875251598
3-87525-159-8