Bestimmung von Materialeigenschaften für Mikrostrukturen [Poster ; 4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz, 11.-12.10.1999]

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Technische Universität Chemnitz-Zwickau Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Schröter, Bernd (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz 1999
Schlagworte:	Forschungsbericht
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