STM- und XPS-Untersuchungen zum Reaktionsverhalten von TEOS auf Silicium

Ulm, Univ., Diss., 2000

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Spitzmüller, Jürgen (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2000
Ausgabe:	[Elektronische Resource]
Schlagworte:	Hochschulschrift > CD-ROM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Ulm, Univ., Diss., 2000
Beschreibung:	1 CD-ROM CD-R 12 cm