Entwicklung einer Niederenergie-Implantationskammer mit einem neuartigen Bremslinsensystem

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Teichert, Jochen (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Borany, Johannes von (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden FZR 2001
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Wissenschaftlich-Technische Berichte / Forschungszentrum Rossendorf, FZR 323
Schlagworte:
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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