Low-temperature wafer-to-wafer bonding for microchemical systems

Delft, Techn. Univ., Diss., 2001

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Berthold, Axel (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2001
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Wafer > Bonden
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