Untersuchungen zum Oxidationsverhalten von Silizium Einfluß auf die Aperturgeometrie von SiO2-Hohlspitzen

Kassel, Univ.-Gesamthochsch., Diss., 2001

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Vollkopf, Alexander (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2001
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Oxidation
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Kassel, Univ.-Gesamthochsch., Diss., 2001
Beschreibung:	IV, 81 S Ill., graph. Darst