Verbundvorhaben Fortschrittliche Kupfer-Metallisierungssysteme (FOKUM), Teilvorhaben: Prozess- und Verfahrensentwicklung für die Höchstintegration Berichtszeitraum: 01.07.1997 bis 31.03.2000

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Technische Universität Chemnitz-Zwickau Zentrum für Mikrotechnologien (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Geßner, T. (BerichterstatterIn), Schulz, Stefan E. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz ZfM 2001
Schlagworte:	Forschungsbericht > Metallisieren
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