Verbundvorhaben Fortschrittliche Kupfer-Metallisierungssysteme (FOKUM), Teilvorhaben: Prozess- und Verfahrensentwicklung für die Höchstintegration : Berichtszeitraum: 01.07.1997 bis 31.03.2000

Verbundvorhaben Fortschrittliche Kupfer-Metallisierungssysteme (FOKUM), Teilvorhaben: Prozess- und Verfahrensentwicklung für die Höchstintegration Berichtszeitraum: 01.07.1997 bis 31.03.2000

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Technische Universität Chemnitz-Zwickau Zentrum für Mikrotechnologien (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Geßner, T. (BerichterstatterIn), Schulz, Stefan E. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Chemnitz ZfM 2001
Schlagworte:
Forschungsbericht > Metallisieren
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01M 2972 A. - Verbund-Nr. 01006806
Beschreibung:96 Bl
Ill., graph. Darst