Deep ion implantation: advantages and current problems

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Słowiński, B. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Dubna 1998
Schriftenreihe:	Obʺedinennyj Institut Jadernych Issledovanij E14-98-379
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