Deep ion implantation: advantages and current problems
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Dubna
1998
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| Schriftenreihe: | Obʺedinennyj Institut Jadernych Issledovanij
E14-98-379 |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Russ. Zsfassung u.d.T.: Glubokaja ionnaja implantacija: preimuščestva i aktualʹnaja problematika |
|---|---|
| Beschreibung: | 4 S graph. Darst |