Abschlußbericht - Thema: DUV-Lithographie von metallischen Set-Elementen innerhalb des BMBF/VDI - Verbundprojekts "Einzelelektronentunneln" Projektzeitraum: 01.07.1997 - 30.06.2000
SET, single electron transistor, interference lithography
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Aachen
AMICA/AMO GmbH
2000
|
Schlagworte: | |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | SET, single electron transistor, interference lithography |
---|---|
Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 13N7171/2 - Verbund-Nr. 01008851 - Engl. Zsfassung u.d.T. DUV lithography of metallic single electron transistors Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentenversion können nicht ausgeschlossen werden Literaturverz. S. 20 Auch als elektronische Ressource vorh |
Beschreibung: | 20 Bl Ill., graph. Darst |