Abschlußbericht - Thema: DUV-Lithographie von metallischen Set-Elementen innerhalb des BMBF/VDI - Verbundprojekts "Einzelelektronentunneln" Projektzeitraum: 01.07.1997 - 30.06.2000

SET, single electron transistor, interference lithography

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Moormann, Christian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Kurz, Heinrich (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen AMICA/AMO GmbH 2000
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Beschreibung
Zusammenfassung:SET, single electron transistor, interference lithography
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N7171/2 - Verbund-Nr. 01008851 - Engl. Zsfassung u.d.T. DUV lithography of metallic single electron transistors
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Literaturverz. S. 20
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:20 Bl
Ill., graph. Darst