Abschlußbericht zum BMBF-Vorhaben: Grundlagen zum Hochrate-Plasmaätzen zur Veredelung von optischen Oberflächen, Teilvorhaben: Grundlagen und Technologien zum lokalen Hochrate-Plasmaätzen ; Laufzeit des Vorhabens/Berichtszeitraum: 01.11.1996 - 30.04.2000

Teilprojekt IIIa: Charakterisierung und Modellierung lokaler Plasmen : Berichtszeitraum: 1.11.1996 - 31.3.2000 / Bearb.: R. Foest; D. Keller; A. Ohl

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Institut für Oberflächenmodifizierung (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Schindler, Axel (BerichterstatterIn), Foest, R. (BerichterstatterIn), Keller, D. (BerichterstatterIn), Ohl, A. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Leipzig IOM 2000 Leipzig 2000
Schlagworte:	Forschungsbericht > Plasmaätzen > Optisches Bauelement
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Teilprojekt IIIa: Charakterisierung und Modellierung lokaler Plasmen : Berichtszeitraum: 1.11.1996 - 31.3.2000 / Bearb.: R. Foest; D. Keller; A. Ohl
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 13N7016 0 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentversion können nicht ausgeschlossen werden Auch als Elektronische Ressource vorh
Beschreibung:	74, 29 Bl Ill., graph. Darst