Verbundprojekt: Laserinduzierte Fertigungsverfahren - Abtragen mit Laserphotonen, Präzisionsbearbeitung von Glas und dünnen Schichten mit Laserstrahlung, Abschlußbericht für das Teilvorhaben: Ersatz teurer kristalliner Substrate durch laserstrukturierte kostengünstige Gläser 1. März 1999 - 31. Mai 2000
Selective nucleation, silicon, laster structuring, self-focusing
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
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Berlin u.a.
2000
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