Verbundprojekt: Laserinduzierte Fertigungsverfahren - Abtragen mit Laserphotonen, Präzisionsbearbeitung von Glas und dünnen Schichten mit Laserstrahlung, Abschlußbericht für das Teilvorhaben: Ersatz teurer kristalliner Substrate durch laserstrukturierte kostengünstige Gläser 1. März 1999 - 31. Mai 2000

Selective nucleation, silicon, laster structuring, self-focusing

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Institut für Kristallzüchtung (BerichterstatterIn), Max-Born-Institut für Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Boeck, Torsten (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Berlin u.a. 2000
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Beschreibung
Zusammenfassung:Selective nucleation, silicon, laster structuring, self-focusing
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N7048 7. - Verbund-Nr. 01006544. - Engl. Zsfassung u.d.T.: Substitution of expensive crystalline substrates by laser structured low cost glasses
Beschreibung:31 Bl
Ill., graph. Darst