Proceedings of the Fifth International Workshop on Plasma-Based Ion Implantation (PBII-99) Kyoto, Japan, 13 - 16 December 1999

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	International Workshop on Plasma Based Ion Implantation (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Yamada, Isao (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2001
Schriftenreihe:	Surface & coatings technology 136,1/3
Schlagworte:	Konferenzschrift > Ionenimplantation
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