Untersuchungen zur Lithographie mit hochenergetischen Ionen in Polymeren zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen

Jena, Univ., Diss., 2000

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schrempel, Frank (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2000
Schlagworte:
Hochschulschrift > Lithografie > Mikrostruktur
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Beschreibung
Zusammenfassung:Jena, Univ., Diss., 2000
Beschreibung:115 S
Ill., graph. Darst
30 cm