Micro-electro-mechanical systems (MEMS) - 2000 microelectromechanical systems, microfluidics, MEMS packaging: challenges and future, medical applications of microsystems, issues in the manufacturing of MEMS and related micromechanical systems ; presented at the 2000 ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition, November 5 - 10, 2000, Orlando, Florida

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	American Society of Mechanical Engineers MEMS Subdivision (BerichterstatterIn), International Mechanical Engineering Congress and Exposition (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Malshe, Ajay P. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY American Society of Mechanical Engineers 2000
Schriftenreihe:	MEMS 2
Schlagworte:	Konferenzschrift > Elektromechanik > Kongress > Mikromechanik > Mikrosystemtechnik > MEMS
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!