Abschlußbericht MIKROMAK "Optisches 3D-Inspektionssystem zur ortsaufgelösten Materialkennwerteermittlung an strukturierten Mikrokomponenten, Teilprojekt: "Hierarchie mikromechanischer Teststrukturen" Berichtzeitraum: 01.01.1996 bis 31.12.1999

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Sentech Instruments GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Wandel, K. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin 1999
Schlagworte:	Forschungsbericht
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