Abschlußbericht MIKROMAK "Optisches 3D-Inspektionssystem zur ortsaufgelösten Materialkennwerteermittlung an strukturierten Mikrokomponenten, Teilprojekt: "Hierarchie mikromechanischer Teststrukturen" Berichtzeitraum: 01.01.1996 bis 31.12.1999
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Berlin
1999
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| Beschreibung: | 8 Bl Ill |