Über die Deposition dicker spannungsarmer kubischer Bornitridschichten eine Anwendung des Verspannungsabbaus durch mittelenergetische Ionenbestrahlung

Ulm, Univ., Diss., 2000

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Widmayer, Peter (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1999
Ausgabe:	[Elektronische Resource]
Schlagworte:	Hochschulschrift > CD-ROM > CBN > Beschichten > Ionenbestrahlung
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Ulm, Univ., Diss., 2000
Beschreibung:	Titel auf der Beil
Beschreibung:	1 CD-ROM CD-R 12 cm Beil. ([2] Bl.)
Format:	Systemvoraussetzungen; Acrobat Reader 4.0 auf der CD-ROM enthalten;