Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries : 30 - 31 July 2000, San Diego, USA

Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries 30 - 31 July 2000, San Diego, USA

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Jumaily, Ghanim A. al- (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2000
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 4099
Schlagworte:
Optoelectronics > Optical measurements > Industrial applications > Surfaces (Technology) > Measurement > Optoelectronic devices > Information retrieval > Technological innovations > Konferenzschrift
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:IX, 328 S
ISBN:0819437441
0-8194-3744-1