Micromachined devices and components VI 18 - 19 September 2000, Santa Clara, USA

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Peeters, Eric (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Bellingham, Wash. SPIE 2000
Schriftenreihe:	SPIE proceedings series 4176
Schlagworte:	Electromechanical devices > Micromechanics > Micromachining > Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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