Micromachined devices and components VI 18 - 19 September 2000, Santa Clara, USA
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Bellingham, Wash.
SPIE
2000
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| Schriftenreihe: | SPIE proceedings series
4176 |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Tags: |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | VIII, 282 S |
|---|---|
| ISBN: | 0819438324 0-8194-3832-4 |