EMC 2000 : 17th European Mask Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components ; lectures held at the GMM-Conference, November 13 - 14, 2000 in Munich-Unterhaching, Germany

EMC 2000 17th European Mask Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components ; lectures held at the GMM-Conference, November 13 - 14, 2000 in Munich-Unterhaching, Germany

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: EMC (VerfasserIn), SEMI Europe (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Behringer, Uwe (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Berlin u.a. VDE-Verl. 2000
Schriftenreihe:GMM-Fachbericht 32
Schlagworte:
Integrated circuits > Masks > Microlithography > X-ray lithography > Konferenzschrift > Maskentechnik
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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