EMC 2000 17th European Mask Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components ; lectures held at the GMM-Conference, November 13 - 14, 2000 in Munich-Unterhaching, Germany

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	EMC (VerfasserIn), SEMI Europe (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Behringer, Uwe (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin u.a. VDE-Verl. 2000
Schriftenreihe:	GMM-Fachbericht 32
Schlagworte:	Integrated circuits > Masks > Microlithography > X-ray lithography > Konferenzschrift > Maskentechnik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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