Proceedings of the 2nd International Workshop on Basic Aspects of Nonequilibrium Plasmas Interacting with Surfaces (BANPIS-2000) Huis Ten Bosch, Nagasaki, Japan, January 28 - 30, 2000

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	International Workshop on Basic Aspects of Nonequilibrium Plasmas Interacting with Surfaces (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tachibana, K. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2000
Schriftenreihe:	Thin solid films 374,2
Schlagworte:	Microelectronics > Congresses > Nonequilibrium plasmas > Plasma etching > Surfaces (Physics) > Surfaces (Technology) > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Literaturangaben
Beschreibung:	S. 144 - 325 Ill., graph. Darst