Microsystem design

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Senturia, Stephen D. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Boston, Mass. u.a. Kluwer Acad. Publ. c2001
Schlagworte:	Microelectromechanical systems > Design and construction > System design > Microelectronics > Mikrosystemtechnik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Cover Table of contents only
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