Proceedings of the 1st Topical Conference on Fabrication and Metrology in Nanotechnology Copenhagen, May 28 - 30, 2000 Vol. 2

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Topical Conference on Fabrication and Metrology in Nanotechnology (VerfasserIn), European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (BerichterstatterIn), Center for Geometrical Metrology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Chiffre, Leonardo de (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Lyngby Technical University of Denmark, Department of Manufacturing Engineering 2000
Schlagworte:
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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