Fabrication of Silicon-on-insulator (SOI) wafers using ion implantation

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Sadana, Devendra K. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Current, Michael I. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Yorktown Heights, NY IBM Watson Research Center 2000
Schriftenreihe:	Research Report / IBM Research Division, Watson Research Center RC 21780 = 98074 Computer science/mathematics
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