Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss, 2000

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Richter, Silvia (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2000
Schriftenreihe:	Berichte aus der Physik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Tiefenprofilmessung > Elektronenstrahlmikroanalyse > Sputtern
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