Interferometrical profilometry at surfaces with varying materials
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | SPI Conference on Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIII. 1999. - (SPI ; 3677) |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Darmstadt
1999
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 13N6697 |
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Beschreibung: | S. 1009-1016 graph. Darst |