Interferometrical profilometry at surfaces with varying materials

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:SPI Conference on Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIII. 1999. - (SPI ; 3677)
Körperschaft: Technische Hochschule Darmstadt Institut für Angewandte Physik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Jennewein, Holger (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Darmstadt 1999
Schlagworte:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N6697
Beschreibung:S. 1009-1016
graph. Darst