Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung

Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Habil.-Schr., 2000

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Peiner, Erwin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2000
Schriftenreihe:	Berichte aus der Halbleitertechnik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Diagnosesystem > Maschinenschwingung > Vibrationssensor > Siliciumsensor > Faseroptischer Sensor > Mikromechanik
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Habil.-Schr., 2000
Beschreibung:	XVIII, 208, 11 S graph. Darst
ISBN:	382657401X 3-8265-7401-X