Ionenstrahl-induzierte Rauhigkeit bei der Tiefenprofilermittlung polykristalliner Metallschichten mit der Augerelektronen-Spektroskopie

Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 1999

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Wöhner, Thomas (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Knedlik, Christian (BerichterstatterIn), Rößler, Hans (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2000
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Berichte aus der Physik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Metallschicht > Dünne Schicht > Tiefenprofilmessung > Sputtern > Rauigkeit > Auger-Spektroskopie
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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