Abschlußbericht, BMBF Vorhaben, Förderkennzeichen: 01 M 2973 1 : [Verbundprojekt: Kristallzüchtung und Bearbeitung von Si-Wafern mit Durchmessern von 300 mm und größer - Teilvorhaben: Metallkontaminations-Spurenanalyse auf 300 mm Scheibenoberflächen] ; [Laufzeit des Vorhabens: 01.03. - 31.05.99]

Abschlußbericht, BMBF Vorhaben, Förderkennzeichen: 01 M 2973 1 [Verbundprojekt: Kristallzüchtung und Bearbeitung von Si-Wafern mit Durchmessern von 300 mm und größer - Teilvorhaben: Metallkontaminations-Spurenanalyse auf 300 mm Scheibenoberflächen] ; [Laufzeit des Vorhabens: 01.03. - 31.05.99]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Huber, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Freudenberg, F. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: München GeMeTec 2000
Schlagworte:
Forschungsbericht > Wafer > Verunreinigung > Spurenanalyse
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Beschreibung
Beschreibung:Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentversion können nicht ausgeschlossen werden
Förderkennzeichen BMBF 01 M 2973 1 (falsche Angabe a.d. Titelbl.); 01 M 2973 I (richtig!). - Verbund-Nr. 01010075
Auch als elektronisches Dokument vorh
Beschreibung:41 Bl
Ill., graph. Darst