Proceedings / 16th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents 15 - 16 November 1999, Munich, Germany

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	European Conference EMC on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components (VerfasserIn), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Behringer, Uwe F. W. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Bellingham, Wash. SPIE 2000
Schriftenreihe:	SPIE proceedings series 3996
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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