EUV, X-Ray, and neutron optics and sources

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Conference on EUV, X Ray, and Neutron Optics and Sources (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	MacDonald, Carolyn A. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Bellingham, Wash. SPIE 1999
Schriftenreihe:	SPIE proceedings series 3767
Schlagworte:	X-ray optics > Extreme ultraviolet lithography > Lithography, Electron beam > Ion beam lithography > Neutron sources > Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	X, 394 S zahlr. Ill.
ISBN:	0819432539 0-8194-3253-9