Verbundprojekt "Logistisches Zentrum zum Sortieren und Speichern von Halbleitersubstraten - LOCSS" Abschlussbericht ; Gesamtprojekt: SMART FABRICATION ; Berichtszeitraum: 1. Juni 1996 - 31. März 1999

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Automation in Cleanroom GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Gentischer, Josef (BerichterstatterIn), Schmutz, Wolfgang (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Niedereschach 1999
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01M2970A3. - Verbund-Nr. 01004580. - Engl. Zsfassung u.d.T.: Logistical Centre for Sorting and Stocking (LOCSS)
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Dokumentversion können nicht ausgeschlossen werden
Teilweise auch als elektronisches Dokument vorh
Beschreibung:[108] Bl
Ill., graph. Darst