Hochauflösende Sekundärionen-Massenspektrometrie (TOF-SIMS) an Halbleiterstrukturen

Münster, Univ., Diss., 1999

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Bendel, Christian (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1999
Schlagworte:	Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Münster, Univ., Diss., 1999
Beschreibung:	111 S Ill., graph. Darst