Micro-electro-mechanical systems (MEMS) - 1999 microelectromechanical systems, microfluidics, MEMS packaging, thermal devices and measurements, medical applications of microsystems ; presented at the 1999 ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition, November 14 - 19, 1999, Nashville, Tennessee

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	American Society of Mechanical Engineers Fluids Engineering Division (BerichterstatterIn), American Society of Mechanical Engineers Electrical and Electronic Packaging Division (BerichterstatterIn), American Society of Mechanical Engineers Heat Transfer Division (BerichterstatterIn), American Society of Mechanical Engineers Bioengineering Division (BerichterstatterIn), International Mechanical Engineering Congress and Exposition (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Lee, Abraham P. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY American Society of Mechanical Engineers 1999
Schriftenreihe:	MEMS 1
Schlagworte:	Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik > MEMS
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