Micro-electro-mechanical systems (MEMS) - 1999 microelectromechanical systems, microfluidics, MEMS packaging, thermal devices and measurements, medical applications of microsystems ; presented at the 1999 ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition, November 14 - 19, 1999, Nashville, Tennessee
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
New York, NY
American Society of Mechanical Engineers
1999
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Schriftenreihe: | MEMS
1 |
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Beschreibung: | X, 611 S |
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ISBN: | 0791816389 0-7918-1638-9 |