Materials for advanced metallization proceedings of the Third European Workshop on Materials for Advanced Metallization, Ostende, Belgium, March 7 - 10, 1999

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	MAM (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Vantomme, André (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2000
Schriftenreihe:	Microelectronic engineering 50
Schlagworte:	Konferenzschrift
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