Gate dielectric integrity material, process, and tool qualification

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Conference on Gate Dielectric Integrity (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Gupta, Dinesh C. (BerichterstatterIn), Brown, George A. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	West Conshocken, Pa. ASTM 2000
Schriftenreihe:	ASTM STP 1382
Schlagworte:	Konferenzschrift
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